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异质结电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备 (T/CPIA 0065-2024)

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异质结电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备 (T/CPIA 0065-2024)

标准号T/CPIA 0065-2024状态

发布日期:2024年03月10日

实施日期:2024年03月15日

异质结电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备基本信息

标准编号:T/CPIA 0065—2024

国际标准分类号:27.160

国民经济分类:C382 输配电及控制设备制造

起草人:王赶强、王慧慧、庄天奇、马哲国、卢俊雄、吴易龙、江伟、朱海剑、张洪旺、周光大、朱晨、刘松民、周春华、谈剑豪

起草单位:中国电子技术标准化研究院、理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、常州捷佳创精密机械有限公司、无锡帝科电子材料股份有限公司、杭州福斯特应用材料股份有限公司、江苏乾景睿科新能源有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏爱康能源研究院有限公司

内容概括:本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等……

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