标准号T/QGCML 3970-2024状态
发布日期：2024年03月28日
实施日期：2024年04月11日
半导体车间金属粉尘智能检测分析系统基本信息
标准编号：T/QGCML 3970—2024
国际标准分类号：35.240.01信息技术应用综合
国民经济分类：I653 信息系统集成和物联网技术服务
起草人：张辰铭、陈肖依、张红、李玉山、何洋。
起草单位：凌凯电子科技（湖北）有限公司、武汉羚动设备有限公司、湖北鸿阳企业服务有限公司。
内容概括：本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及……