标准号T/GVS 007-2022状态
发布日期：2022年07月11日
实施日期：2022年07月11日
射频电源动态阻抗测试方法基本信息
标准编号：T/GVS 007—2022
英文标题：Test method for dynamic impedance of RF generator
国际标准分类号：19.080
中国标准分类号：K 80
国民经济分类：M745 质检技术服务
起草人：乐卫平、林伟群、姚志毅、唐亚海、林桂浩、黄永镇、刘涛、张桂东、张赛谦、郭冬、高飞。
起草单位：深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆科技股份有限公司。
范围：本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。
是否包含专利信息：否
规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2MHz～10……