集成电路用高纯钛溅射靶材 (T/ZZB 0093-2016）

标准号T/ZZB 0093-2016状态

发布时间：2016-09-10

实施时间：

集成电路用高纯钛溅射靶材

标准号：T/ZZB 0093-2016

标准名称：集成电路用高纯钛溅射靶材

团体名称：浙江省品牌建设联合会

中国标准分类号：H64

国际标准分类号：77.150.50

本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。、本标准主要起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司。、本标准参与起草单位：宁波创润新材料有限公司。