标准号T/CNIA 0063-2020状态
发布时间：2020-05-27
实施时间：2021-08-01
电子工业用高纯硝酸
标准号：T/CNIA 0063-2020
标准名称：电子工业用高纯硝酸
团体名称：中国有色金属工业协会
中国标准分类号：G11
国际标准分类号：71.060.01
杨晓青、刘刚、岳峥、薛心禄、秦榕、白圣玉、李军、张旸旸、孙燕、张全伟
青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、中巨芯科技有限公司、多氟多化工股份有限公司、有研半导体材料有限公司、苏州晶瑞化学股份有限公司
本标准规定了电子工业用高纯硝酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单（或合同》内容及安全。
本标准适用于电子工业用高纯硝酸（以下简称高纯硝酸》。该产晶主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成路用硅片、芯片的清洗、仙刻等。