标准号T/CNIA 0060-2020状态
发布时间：2020-05-27
实施时间：2020-08-01
多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
标准号：T/CNIA 0060-2020
标准名称：多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
团体名称：中国有色金属工业协会
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040.01
刘文明、孟凡江、田洪先、高明、刘强、黄宗武、赵英、姜海明
宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司
本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定，测定范围为0.02×10-9-1×10-5（V/V）。