标准号T/ZZB 2283—2021状态
发布时间：2021年08月26日
实施时间：2021年09月26日
半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉基本信息
标准号：T/ZZB 2283—2021
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于纯度达到5N（99.999wt%）以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉。
中国标准分类号：C309 石墨及其他非金属矿物制品制造
国际标准分类号：29.050
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：
标准名称：半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉