标准号T/ICMTIA PC007—2021状态
发布时间：2021年05月31日
实施时间：2021年07月30日
集成电路用氢氟酸基本信息
标准号：T/ICMTIA PC007—2021
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。分子式：HF相对分子质量：20.01（按2014年国际相对原子质量）
中国标准分类号：C266 专用化学产品制造
国际标准分类号：29.045
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：
标准名称：集成电路用氢氟酸