标准号T/ICMTIA 5.3—2020状态
发布时间：2020年12月31日
实施时间：2021年03月01日
集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法基本信息
标准号：T/ICMTIA 5.3—2020
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本文件规定了ArF光刻胶的光刻检测要求及方法、检测标准及包装、运输、存储及环保要求。
中国标准分类号：C266 专用化学产品制造
国际标准分类号：29.045
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：
标准名称：集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法
本文件适用于集成电路用ArF光刻胶。