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集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法 (T/ICMTIA 5.3-2020)

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集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法 (T/ICMTIA 5.3-2020)

标准号T/ICMTIA 5.3—2020状态

发布时间:2020年12月31日

实施时间:2021年03月01日

集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法基本信息

标准号:T/ICMTIA 5.3—2020

团体名称:中国标准化协会

主要技术内容:本文件规定了ArF光刻胶的光刻检测要求及方法、检测标准及包装、运输、存储及环保要求。

中国标准分类号:C266 专用化学产品制造

国际标准分类号:29.045

发证机关:中华人民共和国民政部

行业分类:

标准名称:集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法

本文件适用于集成电路用ArF光刻胶。

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