标准号T/CESA 1081—2020状态
发布时间：2020年06月20日
实施时间：2020年06月20日
半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求基本信息
标准号：T/CESA 1081—2020
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本标准规定了半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。
中国标准分类号：C397 电子器件制造
国际标准分类号：13.020.01 环境和环境保护综合
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：环境和环境保护综合
标准名称：半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求