标准号T/ICMTIA 3—2020状态
发布时间：2020年02月24日
实施时间：2020年04月24日
集成电路用六氯乙硅烷基本信息
标准号：T/ICMTIA 3—2020
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本标准规定了集成电路用六氯乙硅烷的技术要求，检测方法，包装与运输及安全的要求。其中，检测方法涵盖抽样和判定原则、组分的测定和杂质元素含量的测定等内容。
中国标准分类号：C266 专用化学产品制造
国际标准分类号：71.100.20 工业气体
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：工业气体
标准名称：集成电路用六氯乙硅烷
本标准适用于以多晶硅副产六氯乙硅烷为原料提纯或化工合成的集成电路用六氯乙硅烷。集成电路用六氯乙硅烷主要用于半导体行业氧化硅膜、氮化硅膜的低温低压沉积工艺中，也是优良的硅氧烷前驱和光学纤维原料。