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椭偏仪校准规范 (JJF 1932-2021)

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标准号JJF 1932-2021状态

发布于:2021-12-08

实施于:2022-06-08

椭偏仪校准规范基本信息

标准号:JJF 1932-2021

标准名称:椭偏仪校准规范

起草单位:中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所、中国电子科技集团公司第四十一研究所、上海市计量测试技术研究院、陕西省计量科学研究院

本规范适用于波长范围在250nm ~ 2000nm内的椭偏仪的校准。

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