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光栅式测微仪检定规程 (JJG 989-2004)

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标准号JJG 989-2004状态

发布于:2004-09-21

实施于:2004-12-21

光栅式测微仪检定规程基本信息

标准号:JJG 989-2004

标准名称:光栅式测微仪检定规程

起草单位:中国科学院光电技术研究所、中国测试技术研究院

本规程适用于分辨力为0.01μm~1μm,测量范围至100mm的光栅式测微仪的首次检定、后续检定和使用中的检验。

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