发布于:2003-05-12
实施于:2003-11-12
标准号:JJF 1100-2003
标准名称:平面等厚干涉仪校准规范
起草单位:中国测试技术研究院
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准,不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类干涉装置的校准。
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