发布于：2022-09-30
实施于：2023-04-01
标准号：YS/T 1516-2022
制修订：制定
中国标准分类号：H62
国际标准分类号：77.150.40
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：产品标准
适用范围：本文件适用于半导体溅射靶材、蒸发料等所需的高纯镍铸锭。
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