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金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证方法 (SJ 21260-2018)

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金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证方法 (SJ 21260-2018)

标准号SJ 21260-2018状态

发布于:2018-01-18

实施于:2018-05-01

金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证方法基本信息

标准号:SJ 21260-2018

标准名称:金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证方法

英文名称:Technological verification procedures for metal-organic chemical vapor deposition(MOCVD)equipment

发布部门:科技工业局

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