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干法刻蚀设备工艺验证方法 (SJ 21258-2018)

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干法刻蚀设备工艺验证方法 (SJ 21258-2018)

标准号SJ 21258-2018状态

发布于:2018-01-18

实施于:2018-05-01

干法刻蚀设备工艺验证方法基本信息

标准号:SJ 21258-2018

标准名称:干法刻蚀设备工艺验证方法

英文名称:Technological verification procedures for dry etching equipment

发布部门:科技工业局

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