标准号SJ/T 10583-1994状态
发布于：1994-08-08
实施于：1994-12-01
气体质量流量控制器通用技术条件
标准号：SJ/T 10583-1994
中国标准分类号：L98
国际标准分类号：23.120
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等部门。