标准号SJ/T 10152-1991状态
发布于：1991-04-02
实施于：1991-07-01
集成电路主要工艺设备术语
标准号：SJ/T 10152-1991
中国标准分类号：L56
国际标准分类号：31-550
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。 本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流。
发布于：1991-04-02
实施于：1991-07-01
标准号：SJ/T 10152-1991
中国标准分类号：L56
国际标准分类号：31-550
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。 本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流。
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