标准号YS/T 43-2011状态
发布于：2011-12-20
实施于：2012-07-01
高纯砷
标准号：YS/T 43-2011
中国标准分类号：H81
国际标准分类号：29.045
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
杨卫东、程高明 等
峨嵋半导体材料厂、峨嵋山嘉美高纯材料有限公司
本标准规定了高纯砷的分类和标记、要求、试验方法、检验规则、产品标识、包装、运输、贮存等。本标准适用于以工业砷为原料，经升华、氯化、精馏、氢还原等加工提纯后制成的纯度不小于99.999%、99.9999%、99.99999%的高纯砷。产品主要用于制造砷化镓等Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体、外延源以及半导体掺杂剂等。