标准号SJ/T 11552-2015状态
发布于：2015-10-10
实施于：2016-04-01
以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
标准号：SJ/T 11552-2015
中国标准分类号：H82
国际标准分类号：29.045
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
李静、何秀坤、刘兵 等
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。
发布于：2015-10-10
实施于：2016-04-01
标准号：SJ/T 11552-2015
中国标准分类号：H82
国际标准分类号：29.045
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
李静、何秀坤、刘兵 等
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。
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