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集成电路用石英舟 (JC/T 2372-2016)

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集成电路用石英舟 (JC/T 2372-2016)

标准号JC/T 2372-2016状态

发布于:2016-07-11

实施于:2017-01-01

集成电路用石英舟

标准号:JC/T 2372-2016

中国标准分类号:Q35

国际标准分类号:81.040.30

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:采矿业

本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、清洗、包装、运输和贮存。 本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品,包含立式石英舟及卧式石英舟。

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