标准号SJ/T 11761-2020状态
发布于：2020-12-09
实施于：2021-04-01
200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
标准号：SJ/T 11761-2020
中国标准分类号：L95
国际标准分类号：31.550
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
胡松立、郑教增、冯亚彬 等
上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司等
适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口
发布于：2020-12-09
实施于：2021-04-01
标准号：SJ/T 11761-2020
中国标准分类号：L95
国际标准分类号：31.550
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
胡松立、郑教增、冯亚彬 等
上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司等
适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口
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