标准号JB/T 13872-2020状态
发布于：2020-04-16
实施于：2021-01-01
平面相移干涉仪
标准号：JB/T 13872-2020
中国标准分类号：N33
国际标准分类号：17.180.30
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪（以下简称仪器）。
发布于：2020-04-16
实施于：2021-01-01
标准号：JB/T 13872-2020
中国标准分类号：N33
国际标准分类号：17.180.30
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪（以下简称仪器）。
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