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表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法 (GB/T 40109-2021)

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表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法 (GB/T 40109-2021)

标准号GB/T 40109-2021状态

发布于:2021-05-21

实施于:2021-12-01

表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法基本信息

标准号:GB/T 40109-2021

中国标准分类号:G04

国际标准分类号: 71.040.40     71 化工技术 71.040 分析化学 71.040.40 化学分析

归口单位:全国微束分析标准化技术委员会

执行单位:全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口上报,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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