微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法 (GB/T 44842-2024)

标准号GB/T 44842-2024状态

发布于：2024-10-26

实施于：2024-10-26

标准类型：PDF

微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法基本信息

标准号：GB/T 44842-2024

标准类别：方法

中国标准分类号：L59

国际标准分类号： 31.080.99 31 电子学，31.080 半导体分立器件，31.080.99 其他半导体分立器件

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准委

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 工业和信息化部电子第五研究所、苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、成都航天凯特机电科技有限公司、苏州大学、无锡芯感智半导体有限公司、无锡华润上华科技有限公司、西北工业大学、华南理工大学、深圳市美思先端电子有限公司、天津大学、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、苏州市标准化协会、安徽北方微电子研究院集团有限公司、广东润宇传感器股份有限公司、无锡韦感半导体有限公司。

主要起草人 董显山 、张硕 、夏燕 、李根梓 、蒋礼平 、路国光 、孙立宁 、来萍 、杨绍松 、夏长奉 、王科 、周长见 、宏宇 、胡晓东 、胡静 、张森 、韦覃如 、张启心 、黄钦文 、殷芳 、王文婧 、李树成 、赵成龙 。

微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法 (GB/T 44842-2024)