标准号GB/T 44375-2024状态
发布于：2024-08-23
实施于：2025-03-01
标准类型：PDF
300mm半导体设备装载端口要求基本信息
标准号：GB/T 44375-2024
标准类别：基础
中国标准分类号：L97
国际标准分类号： 31.260 31 电子学，31.260 光电子学、激光设备
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准委
国家标准《300mm半导体设备装载端口要求》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 上海微电子装备（集团）股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、漳州市太龙照明工程有限公司、深圳市埃芯半导体科技有限公司、苏州镁伽科技有限公司、中电鹏程智能装备有限公司。
主要起草人 胡松立 、李运锋 、吴怡然 、曹可慰 、赵俊莎 、周晓锋 、李殿浦 、武小娟 、朱明 、李英 、张宝帅 、洪峰 、张志勇 、乔志新 、王鸣昕 。
300mm半导体设备装载端口要求 (GB/T 44375-2024)