洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用 (GB/T 25915.17-2024)

标准号GB/T 25915.17-2024状态

发布于：2024-08-23

实施于：2025-03-01

标准类型：PDF

洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用基本信息

标准号：GB/T 25915.17-2024

标准类别：方法

中国标准分类号：C70

国际标准分类号： 13.040.35 13 环保、保健和安全，13.040 空气质量，13.040.35 清洁室（无菌室）及相关受控环境

归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

执行单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

主管部门：国家标准委

国家标准《洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用》由TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国工程物理研究院激光聚变研究中心、苏州安泰空气技术有限公司、苏州苏信环境科技有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、中国标准化协会、上海尚远建设工程有限公司、中国电子工程设计院股份有限公司、中国科学院大气物理研究所、烟台宝源净化有限公司、北京戴纳实验科技有限公司、广州保瑞医疗技术有限公司、谱尼测试集团股份有限公司、上海市室内环境净化行业协会、仲恺农业工程学院、科锐特（厦门）净化科技有限公司、杭州捷瑞智能装备股份有限公司、惠特科学技术有限公司、朗恒科技集团有限公司、新拓洋生物工程有限公司。

主要起草人 苗心向 、袁晓东 、王天羿 、孙扬 、郝胤博 、吴志坚 、惠旅锋 、陆晶 、丁禹龙 、高怡婷 、奚晓鹏 、杨云涛 、王芳 、贺乐凯 、丁力行 、高正 、魏兰 、山香菊 、张长安 、胡思伟 、黄狄文 、张建国 、李华新 、危勇华 、奚光明 。

洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用 (GB/T 25915.17-2024)