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电子工业用气体 硅烷 (GB/T 15909-2017)

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电子工业用气体 硅烷 (GB/T 15909-2017)

标准号GB/T 15909-2017状态

发布于:2017-05-31

实施于:2017-12-01

电子工业用气体 硅烷基本信息

标准号:GB/T 15909-2017

全部代替标准:GB/T 15909-2009

中国标准分类号:G86

国际标准分类号: 71.100.20     71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《电子工业用气体 硅烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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