标准号GB/T 34894-2017状态
发布于:2017-11-01
实施于:2018-05-01
微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法基本信息
标准号:GB/T 34894-2017
中国标准分类号:L55
国际标准分类号: 31.200 31 电子学 31.200 集成电路、微电子学
归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。