标准号GB/T 31472-2015状态
发布于：2015-05-15
实施于：2016-01-01
X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南基本信息
标准号：GB/T 31472-2015
中国标准分类号：N26
国际标准分类号： 17.220.20 17 计量学和测量、物理现象 17.220 电学、磁学、电和磁的测量 17.220.20 电和磁量值的测量
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。