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硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法 (GB/T 43315-2023)

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硅片流动图形缺陷的检测  腐蚀法 (GB/T 43315-2023)

标准号GB/T 43315-2023状态

发布于:2023-11-27

实施于:2024-06-01

硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法基本信息

标准号:GB/T 43315-2023

标准类别:方法

中国标准分类号:H21

国际标准分类号: 77.040 77 冶金,77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中环领先(徐州)半导体材料有限公司、山东有研半导体材料有限公司、中环领先半导体材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、厦门万明电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、麦斯克电子材料股份有限公司、浙江旭盛电子有限公司。

主要起草人 朱志高 、陈俊宏 、陈凤林 、高海棠 、李素青 、朱晓彤 、由佰玲 、吕莹 、潘金平 、张海英 、胡晓亮 、方丽霞 、陈跃骅 、黄景明 。

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