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硅片表面光泽度的测试方法 (GB/T 42789-2023)

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硅片表面光泽度的测试方法 (GB/T 42789-2023)

标准号GB/T 42789-2023状态

发布于:2023-08-06

实施于:2024-03-01

硅片表面光泽度的测试方法基本信息

标准号:GB/T 42789-2023

标准类别:方法

中国标准分类号:H21

国际标准分类号: 77.040 77 冶金,77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《硅片表面光泽度的测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、天津中环领先材料技术有限公司、山东有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料股份有限公司、麦斯克电子材料股份有限公司、广东金湾高景太阳能科技有限公司、浙江旭盛电子有限公司、巢湖学院、金瑞泓科技(衢州)有限公司。

主要起草人 梁兴勃 、李琴 、张海英 、林松青 、潘金平 、李素青 、张雪囡 、由佰玲 、边永智 、庄智慧 、沈辉辉 、焦二强 、韩云霄 、徐志群 、付明全 、詹玉峰 、王可胜 。

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