标准号GB/T 30116-2013状态
发布于：2013-12-17
实施于：2014-04-15
半导体生产设施电磁兼容性要求基本信息
标准号：GB/T 30116-2013
中国标准分类号：L95
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《半导体生产设施电磁兼容性要求》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
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