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纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法 (GB/T 42106-2022)

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纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法 (GB/T 42106-2022)

标准号GB/T 42106-2022状态

发布于:2022-12-30

实施于:2023-07-01

纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法基本信息

标准号:GB/T 42106-2022

标准类别:方法

中国标准分类号:A42

国际标准分类号: 07.030 07 数学、自然科学,07.030 物理学、化学

归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会

执行单位:全国纳米技术标准化技术委员会

主管部门:中国科学院

国家标准《纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院。

主要起草人 顾长志 、杨海方 、李俊杰 、刘前 、王益群 、樊阳波 。

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