标准号GB/T 41652-2022状态
发布于：2022-07-11
实施于：2023-02-01
刻蚀机用硅电极及硅环基本信息
英文标题：Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine
标准号：GB/T 41652-2022
标准类别：产品
中国标准分类号：H 82
国际标准分类号： 29.045 29 电气工程 29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《刻蚀机用硅电极及硅环》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。