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电子工业用气体 砷化氢 (GB/T 26250-2010)

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电子工业用气体  砷化氢 (GB/T 26250-2010)

标准号GB/T 26250-2010状态

发布于:2011-01-14

实施于:2011-05-01

电子工业用气体 砷化氢基本信息

标准号:GB/T 26250-2010

中国标准分类号:G86

国际标准分类号: 71.100.20     71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《电子工业用气体 砷化氢》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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