标准号GB/T 15909-2009状态
发布于：2009-10-30
实施于：2010-05-01
标准状态：被代替
电子工业用气体 硅烷(SiH4)基本信息
标准号：GB/T 15909-2009
被代替日期：2017-12-01
全部代替标准：GB/T 15909-1995
中国标准分类号：G86
国际标准分类号： 71.100.20 71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《电子工业用气体 硅烷(SiH4)》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。