标准号GB/T 26069-2022状态
发布于:2022-03-09
实施于:2022-10-01
硅单晶退火片基本信息
标准号:GB/T 26069-2022
全部代替标准:GB/T 26069-2010
中国标准分类号:H82
国际标准分类号: 29.045 29 电气工程 29.045 半导体材料
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《硅单晶退火片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。