标准号GB/T 17169-1997状态
发布于：1997-12-22
实施于：1998-08-01
标准状态：废止
硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法基本信息
标准号：GB/T 17169-1997
废止日期：2004-10-14
中国标准分类号：H24
国际标准分类号： 29.045 29 电气工程 29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。