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砷化镓单晶AB微缺陷检验方法 (GB/T 18032-2000)

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砷化镓单晶AB微缺陷检验方法 (GB/T 18032-2000)

标准号GB/T 18032-2000状态

发布于:2000-04-03

实施于:2000-09-01

砷化镓单晶AB微缺陷检验方法基本信息

标准号:GB/T 18032-2000

中国标准分类号:H24

国际标准分类号: 77.040.01     77 冶金 77.040 金属材料试验 77.040.01 金属材料试验综合

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《砷化镓单晶AB微缺陷检验方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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