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集成电路制造设备术语 (GB/T 40577-2021)

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集成电路制造设备术语 (GB/T 40577-2021)

标准号GB/T 40577-2021状态

发布于:2021-10-11

实施于:2022-05-01

集成电路制造设备术语基本信息

标准号:GB/T 40577-2021

中国标准分类号:L95

国际标准分类号: 31.220     31 电子学 31.220 电子电信设备用机电元件

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《集成电路制造设备术语》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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