标准号GB/T 40577-2021状态
发布于：2021-10-11
实施于：2022-05-01
集成电路制造设备术语基本信息
标准号：GB/T 40577-2021
中国标准分类号：L95
国际标准分类号： 31.220 31 电子学 31.220 电子电信设备用机电元件
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《集成电路制造设备术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。