标准号GB/T 14143-1993状态
发布于：1993-02-06
实施于：1993-10-01
标准状态：被代替
300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法基本信息
标准号：GB/T 14143-1993
被代替日期：2006-12-31
中国标准分类号：H26
归口单位：中国有色金属工业协会
执行单位：中国有色金属工业协会
主管部门：中国有色金属工业协会
国家标准《300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口上报及执行，主管部门为中国有色金属工业协会。