标准号DB13/T 5865-2023状态
发布于：2023-10-25
实施于：2023-11-25
现行（非实时更新，以官方为准）
晶圆表面颗粒度检查仪校准方法基本信息
标准号：DB13/T 5865-2023
制修订：制定
中国标准分类号：A 50
国际标准分类号：17.040.20
批准发布部门：河北省市场监督管理局
行业分类：科学研究和技术服务业
标准类别：方法标准
晶圆表面颗粒度检查仪校准方法 (DB13/T 5865-2023)
发布于：2023-10-25
实施于：2023-11-25
现行（非实时更新，以官方为准）
标准号：DB13/T 5865-2023
制修订：制定
中国标准分类号：A 50
国际标准分类号：17.040.20
批准发布部门：河北省市场监督管理局
行业分类：科学研究和技术服务业
标准类别：方法标准
晶圆表面颗粒度检查仪校准方法 (DB13/T 5865-2023)
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